웨이퍼 습식 처리 장비
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

상태

중고

위치

독일

웨이퍼 습식 처리 장비 Robotechnik Europe OPTIwet ST30

지도 표시

기계 정보

기계 명칭:: 웨이퍼 습식 처리 장비

제조업체:: Robotechnik Europe

모델:: OPTIwet ST30

상태:: 사용 준비됨 (중고)

가격 및 위치

위치:: Deutschland

전화하기

제안 세부 정보

광고 ID:: A20618495

참조 번호:: INNO30389

업데이트:: 마지막 업데이트: 26.11.2025

설명

System for wet chemical processing of wafers up to 12in, substrates up to X/Y 9in/9in, stand-alone housing, process modules, PP process chamber, 2 programmable media arms, rotational speed 1-4000rpm, acceleration ramp 1-3000rpm, spin time 1-999s, exhaust process bowl 2x DN110, chamber 2x DN110, housing 1x DN110, control 1x DN110 (each approx. 200m³/h), CDA 8+/-2bar, vacuum -0.8+/-0.2bar, nitrogen 4.0+/-0.5bar, 3 media drains, waste box for 2 concentrate wastes, reagent box with pressure vessel, 4 Julabo thermostat baths. The system was dismantled during disassembly. Viewing possible by arrangement.
Pjdpfxjxzii Uo Aaaerd