발전기UHV deposition system
Ebeam-sputter
기계 정보
가격 및 위치
- 위치:
- Albert Plesmanstraat 3, 6021 PR Budel, Nederland
제안 세부 정보
- 광고 ID:
- A16976251
- 업데이트:
- 마지막 업데이트: 02.09.2024
설명
UHV deposition system:
Was used for deposition Titanium - Gold (ebeam)
Ebeam deposition unit is removed
Cryopump and prepump is removed
Loadlock:
for samples round 75mm
Incl. sample heater
450l/s turbomolecular pump (Leybold)
Proceschamber:
Size: Width 680mm x Height 750mm x Depth 590mm
Incl. shielding
Double oring door (partially pumped)
Bedpfx Adsuhcn Ns Ujld
Heaters
Basepressure low 10-7mbar, high 10-8mbar
Electronics:
Baseline cabinet (e-beam unit removed)
Old PLC (for pump/vent)
Gas cabinet/water:
Various valves/flow reducers for gas and water
Note: D&M Vacuumsystems can upgrade the system to new processes (E-beam or Sputter) incl. new electronics and software.
EUR 55.000,-
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Borken LeyboldDIP 50000
Borken PfeifferDUO 250 A
Bocholt LeyboldTrivac D65B & WAU 251
Borken HaidaHD-B604-S 20 kN
Borken LeyboldDIP 30.000
Borken Agilent / VarianNHS-35
Borken LeyboldWA 501
Borken PfeifferDUO 120
독일 EdwardsE2M80
Borken Alcatel AdixenA 300 P
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