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터보분자 펌프 제어 장치 EDWARDS SCU-1600
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TMP Leybold 800170V2103
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THERMOVAC 측정 장치 Oerlikon Leybold Vacuum TM 23
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터보 드라이브를 갖춘 TMP Leybold 800170V2104
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구동 전자를 갖춘 터보분자 펌프 Pfeiffer Vacuum PM P03 020 GA, TPH 2101 P
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